南航用納米技術(shù)研發(fā)出半導(dǎo)體特性的硫化五鉬納米帶
2013年05月24日 14:1 5065次瀏覽 來源： 南京航空航天大學(xué) 分類： 新技術(shù)
南京航空航天大學(xué)納米科學(xué)研究所與東南大學(xué)、南京大學(xué)和浙江大學(xué)科研團(tuán)隊(duì)合作開展的納米制造技術(shù)研究取得突破，生成了0.35納米寬的尺寸均一、具有半導(dǎo)體特性的高強(qiáng)韌的四硫化五鉬納米帶。
研究還顯示：二硫化鎢、二硒化鉬等二硫?qū)龠^渡族金屬化合物二維原子晶體材料都具有類似的可加工性能。這有望將自上而下的納米制造技術(shù)從10納米以上突破到亞納米級(jí)，提供了納米制造技術(shù)向亞納米級(jí)發(fā)展的一個(gè)新途徑。該研究成果已在《自然-通訊》雜志發(fā)表。
近半個(gè)多世紀(jì)以來，精細(xì)化制造一直是科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的強(qiáng)大推動(dòng)力。尤其是隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，以光刻、電子束刻蝕等能量束刻蝕技術(shù)為主的自上而下的主流納米制造技術(shù)已經(jīng)突破了20納米節(jié)點(diǎn)，最前沿的技術(shù)正在漸漸向10納米分辨率趨近，但要達(dá)到可控制造10納米特征尺寸的結(jié)構(gòu)尚面臨巨大挑戰(zhàn)。
責(zé)任編輯：安子
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