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      半導(dǎo)體材料國(guó)家工程研究中心創(chuàng)新能力建設(shè)項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收

      2014年10月29日 8:48 4481次瀏覽 來(lái)源:   分類: 新技術(shù)

      2014年10月17日,半導(dǎo)體材料國(guó)家工程研究中心創(chuàng)新能力建設(shè)項(xiàng)目通過(guò)了由有研總院組織的專家驗(yàn)收,國(guó)家發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)司創(chuàng)新能力處有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)蒞臨指導(dǎo)。與會(huì)專家對(duì)項(xiàng)目的進(jìn)展和成果給予了高度評(píng)價(jià)。
      半導(dǎo)體材料國(guó)家工程研究中心創(chuàng)新能力建設(shè)項(xiàng)目在原有300mm硅材料技術(shù)基礎(chǔ)上,通過(guò)改善和提升部分硬件設(shè)備,建成硅單晶及硅片缺陷控制、硅片精密加工及表面形貌控制、硅片體金屬污染檢測(cè)及控制、12英寸硅片外延片加工四大研發(fā)創(chuàng)新平臺(tái),顯著提升了技術(shù)創(chuàng)新能力,有力促進(jìn)了300mm硅片的產(chǎn)業(yè)化技術(shù)發(fā)展。項(xiàng)目同時(shí)帶動(dòng)了國(guó)產(chǎn)300mm硅材料加工裝備業(yè)和國(guó)產(chǎn)配套原輔材料發(fā)展,推動(dòng)了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈良性互動(dòng),取得了較為顯著的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。

      責(zé)任編輯:趙天寧

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