我國(guó)集成電路高端裝備自主化取得新突破
2014年11月04日 8:49 5065次瀏覽 來(lái)源： 工業(yè)和信息化部裝備工業(yè)司 分類： 有色裝備
近日，由北方微電子公司自主研發(fā)的12英寸28納米等離子硅刻蝕機(jī)，已經(jīng)全面通過(guò)中芯國(guó)際集成電路制造有限公司的生產(chǎn)線全流程工藝驗(yàn)證，并獲得客戶訂單。這標(biāo)志著中國(guó)集成電路高端裝備自主化取得了新的突破，并縮短了與國(guó)際一流設(shè)備的差距。
責(zé)任編輯：趙天寧
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