日廠研發(fā)大尺寸液晶屏退火工序準分子激光設(shè)備
2016年07月06日 10:28 11450次瀏覽 來源： 新材料在線 分類： 有色裝備
在工業(yè)實際生產(chǎn)過程中，大型尺寸面板的制造，特別是50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設(shè)備的制造過程中，液晶屏退火工序往往無法滿足實際生產(chǎn)的要求。近日，日本的一家公司研發(fā)出大尺寸液晶屏退火工序的準分子激光設(shè)備，可以解決產(chǎn)業(yè)由來已久的痛點。
據(jù)悉，這家名叫Gigaphoton的日本公司6月24日宣布，開發(fā)出了用于制造平板顯示器（FPD）的極小激光退火工序用準分子激光器“GIGANEX”系列。這是一款應(yīng)用高可靠性半導(dǎo)體光刻用準分子激光器的退火用準分子激光器，是專供V-Technology制造的裝置使用的專用機。通過導(dǎo)入已有的a-Si（非晶硅）面板制造工序，使a-Si向p-Si（多晶硅）結(jié)晶化，可制造用以往a-Si無法制造的8K等高精細面板。
另外還可實現(xiàn)以往激光退火工藝無法實現(xiàn)的大型面板尺寸的制造，可滿足制造50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設(shè)備工廠的要求。
不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上，供貨給了大尺寸液晶屏制造設(shè)備工廠用于LTPS（低溫多晶硅）TFT液晶面板制造。
責(zé)任編輯：趙天寧
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