金川集團兩個系列靶材項目通過驗收
實現(xiàn)國家半導(dǎo)體關(guān)鍵超高純金屬材料及靶材國產(chǎn)化突破
2018年06月15日 10:16 2659次瀏覽 來源： 中國有色金屬報 分類： 科技創(chuàng)新
本報訊 5月31日，在浙江省寧波余姚召開的國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡稱02重大專項）驗收會上，金川集團公司承擔(dān)的“十二五”國家科技重大專項“45-28nm配線用超高純系列濺射靶材開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”（02專項）順利通過國家02專項辦公室組織的專家組驗收。
《國家中長期科學(xué)技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006~2020年）》在重點領(lǐng)域中確定一批優(yōu)先主題的同時，圍繞國家目標，進一步突出重點，篩選出若干重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)或重大工程作為重大專項，力爭取得突破，努力實現(xiàn)以科技發(fā)展帶動生產(chǎn)力的跨越發(fā)展。國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項（02專項）包含7個子課題，由寧波江豐電子牽頭，聯(lián)合金川集團等7家單位共同承擔(dān)。其中，金川集團承擔(dān)005課題“45-28nm配線用超高純Cu合金制備與產(chǎn)業(yè)化”和006課題“45-28nm配線用超高純Co、Ni材料制備與產(chǎn)業(yè)化”2個子課題。經(jīng)過項目組全體成員的努力攻關(guān)，先后完成了關(guān)鍵材料的設(shè)計、制備和合成工藝研究、相關(guān)裝備的研發(fā)等，技術(shù)和財務(wù)達到項目任務(wù)書要求，達到了任務(wù)書中規(guī)定的考核指標。
由金川集團科技開發(fā)部和蘭州金川科技園組成的課題組向與會專家匯報了項目及課題的完成情況、財務(wù)執(zhí)行情況，回答了專家組的現(xiàn)場質(zhì)詢。與會專家經(jīng)過審閱驗收資料并認真討論，一致同意該項目通過驗收。該項目的成功實施，實現(xiàn)了國家半導(dǎo)體領(lǐng)域關(guān)鍵超高純金屬材料及其濺射靶材的國產(chǎn)化突破，將有效帶動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
（于彭波）
責(zé)任編輯：楊凈茹
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