黨的二十大報(bào)告強(qiáng)調(diào)，要加快實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略。堅(jiān)持面向世界科技前沿、面向經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng)、面向國(guó)家重大需求、面向人民生命健康，加快實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)。以國(guó)家戰(zhàn)略需求為導(dǎo)向，集聚力量進(jìn)行原創(chuàng)性引領(lǐng)性科技攻關(guān)，堅(jiān)決打贏關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅(jiān)戰(zhàn)。加快實(shí)施一批具有戰(zhàn)略性全局性前瞻性的國(guó)家重大科技項(xiàng)目，增強(qiáng)自主創(chuàng)新能力。

全國(guó)人大代表，特變電工股份有限公司黨委書(shū)記、董事長(zhǎng)張新接受記者采訪(fǎng)時(shí)表示，集成電路行業(yè)是技術(shù)高度集中的領(lǐng)域，其技術(shù)水平是衡量國(guó)家頂級(jí)科技能力和核心創(chuàng)新能力的重要標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)品應(yīng)用涉及航空航天等關(guān)鍵領(lǐng)域。

張新指出，近年來(lái)，我國(guó)在5N級(jí)高純銅、鈦、鋁、鉭等靶材產(chǎn)品方面，通過(guò)自主研發(fā)取得突破，已實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)，集成電路靶材國(guó)產(chǎn)替代趨勢(shì)初步顯現(xiàn)；國(guó)內(nèi)涌現(xiàn)出有研億金、江豐電子、福建阿石創(chuàng)、新疆眾和等一批具有代表性的超高純金屬靶材產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)企業(yè)。同時(shí)，國(guó)內(nèi)企業(yè)依然面臨技術(shù)研發(fā)投入大、周期長(zhǎng)和人才短缺、產(chǎn)品應(yīng)用受限等不利因素。

張新表示，此種現(xiàn)狀難以滿(mǎn)足集成電路行業(yè)對(duì)高純鋁不斷增長(zhǎng)的需求。因此，亟需構(gòu)建完善的工藝路線(xiàn)，打破、規(guī)避?chē)?guó)際壟斷，自上而下形成產(chǎn)業(yè)鏈保障高純鋁制備能力。“建成我國(guó)完全自主可控的全產(chǎn)業(yè)鏈高純鋁制備工藝技術(shù)及批量化生產(chǎn)線(xiàn)，保障我國(guó)集成電路封裝等行業(yè)穩(wěn)定發(fā)展。”他說(shuō)。

張新分析，國(guó)產(chǎn)高純鋁靶基材技術(shù)路徑先進(jìn)性不足，全球呈現(xiàn)寡頭壟斷格局。我國(guó)高純鋁靶基材，特別是超高純鋁靶基材產(chǎn)業(yè)，正處于由中低端產(chǎn)品自給自足向中高端產(chǎn)品自主研發(fā)、進(jìn)口替代的過(guò)渡階段；國(guó)內(nèi)高端超高純鋁靶基材技術(shù)和生產(chǎn)能力偏弱，近年來(lái)產(chǎn)能雖有顯著提高，但不能滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)高端產(chǎn)品需求。

此外，他還認(rèn)為，工藝鏈機(jī)理研究少，缺乏質(zhì)量提升基礎(chǔ)數(shù)據(jù)；應(yīng)用研究少，缺乏長(zhǎng)期使用評(píng)價(jià)數(shù)據(jù)；因國(guó)產(chǎn)超高純鋁靶基材推廣無(wú)保障，靶材綁定及靶材濺鍍企業(yè)無(wú)法開(kāi)展大規(guī)模應(yīng)用研究，導(dǎo)致超高純鋁基材真正實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化受到制約等，都是當(dāng)前行業(yè)面臨的困難。

為此，張新提出幾點(diǎn)建議：一是將集成電路工業(yè)用超高純鋁靶基材生產(chǎn)研制列為國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目工程，加大對(duì)超純鋁提純企業(yè)研發(fā)的政策鼓勵(lì)；二是國(guó)家增設(shè)國(guó)產(chǎn)化超高純鋁靶基材生產(chǎn)、中游綁定及下游濺鍍的行業(yè)企業(yè)鏈；三是政策牽引高校與企業(yè)緊密合作；四是國(guó)家針對(duì)超高純鋁靶基材國(guó)產(chǎn)化研發(fā)工作，給予全方位的政策保障支持，如加強(qiáng)研發(fā)經(jīng)費(fèi)投入力度、建立容錯(cuò)機(jī)制等。