中金嶺南韶關(guān)冶煉廠磷化銦單晶制備取得突破性進(jìn)展
2023年08月13日 11:13 3726次瀏覽 來源： 中國有色金屬報(bào) 分類： 重點(diǎn)新聞 作者： 劉芳芳
8月8日，中金嶺南韶關(guān)冶煉廠（以下簡稱韶冶廠）半導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)采用自主設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)化單晶爐，結(jié)合自主研發(fā)的磷化銦單晶生長技術(shù)，第一爐一次成功獲得具備行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平的高質(zhì)量磷化銦單晶錠，標(biāo)志著其在磷化銦單晶制備技術(shù)領(lǐng)域取得了突破性進(jìn)展。
磷化銦具有電子遷移率高、耐輻射性能好等優(yōu)點(diǎn)，常溫下禁帶寬度為1.35eV，為直接躍遷型能帶結(jié)構(gòu)，是光電器件和微電子器件等高端技術(shù)領(lǐng)域不可或缺的關(guān)鍵半導(dǎo)體材料。中國的磷化銦單晶襯底產(chǎn)業(yè)起步較晚，目前國內(nèi)市場仍被發(fā)達(dá)國家的技術(shù)和產(chǎn)品主導(dǎo)，韶冶廠此次自主成功制備磷化銦單晶，標(biāo)志著在半導(dǎo)體領(lǐng)域又邁出了堅(jiān)實(shí)一步。
磷化銦單晶制備取得的突破性進(jìn)展是中金嶺南緊緊圍繞廣東省委“1310”具體部署，加快關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，深度延伸金屬、稀貴金屬產(chǎn)業(yè)鏈，推動(dòng)高水平科技自立自強(qiáng)的有力實(shí)踐。目前，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)已完成中試驗(yàn)證，從設(shè)備裝配到工藝調(diào)控等一系列生產(chǎn)要素均已實(shí)現(xiàn)高度耦合，為磷化銦化合物半導(dǎo)體襯底材料的產(chǎn)業(yè)化、項(xiàng)目化奠定了扎實(shí)的基礎(chǔ)。
責(zé)任編輯：孟慶科
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