科技部發(fā)布新材料技術(shù)超高純鋁靶材項(xiàng)目申請(qǐng)
2008年05月13日 0:0 5047次瀏覽 來源： 中國有色網(wǎng) 分類： 鋁資訊
據(jù)科技部消息：物理氣相沉積（PVD）是半導(dǎo)體芯片和TFT-LCD生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵的工藝之一，PVD用濺射金屬靶材是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)及TFT-LCD制備加工過程中最重要的原材料之一，濺射金屬靶材中用量最大的是超高純鋁和超高純凈鋁合金靶材。
由此可見，研發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的大尺寸超高純鋁靶材的制造關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出滿足半導(dǎo)體行業(yè)及TFT-LCD產(chǎn)業(yè)需求的超高純鋁靶材產(chǎn)品，對(duì)于我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。
為公正、公平、公開地選擇項(xiàng)目承擔(dān)單位，充分調(diào)動(dòng)相關(guān)企業(yè)、科研院所及高等院校的積極性，集成全國在鋁的精煉提純、大尺寸鋁板形變加工及濺射金屬靶材專業(yè)制備等領(lǐng)域的優(yōu)勢研發(fā)力量開展本項(xiàng)目的工作，科技部發(fā)布了《國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃（863計(jì)劃）新材料技術(shù)領(lǐng)域“大尺寸超高純鋁靶材的制造技術(shù)”重點(diǎn)項(xiàng)目申請(qǐng)指南》。
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